【機械設備】
※ 機密保持の為、掲示しない設備含む
【測定設備】
種別 | メーカー・型式 |
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Leica 画像処理実体測定顕微鏡 | M205C レンズ倍率x7.8~160 S6E レンズ倍率x5~x80 |
デジタルマイクロゲージ(長さゲージ) | HEIDENHAIN MT101K デジマイクロ±0.1μ H=100 2台保有 セラミック定盤の精度検査表(PDF) Nikon デジマイクロメーター MF-501MFC-101 ±0.1μ 1台保有 Nikon デジタルマイクロメータ MF-1001 ±0.1μ 2台保有 |
Mahr830垂直度計・TESA電気マイクロメータ・円筒及び真円度マスターゲージ | ・Mahr830垂直設計 Type Rectimar Nr 58739 ・TESA 電気マイクロメーター TT10±0.1μ ・Mahr円筒及び真円度マスターゲージ Φ100x300H ・基準定盤 C.E.JOHANSSON DIABASE 630x400x100H 等級AA級 |
Nikon 画像処理工場顕微鏡 | NM-800/LFA レンズ倍率 x10、x30、x50、x100 測定範囲 250.0x150.0x150.0(H) |
超高精度三次元座標測定機 | 超高精度三次元座標測定機 Leitz Reference HP 5.4.3 ・ストローク: X400mm、Y500mm、Z300mm ・マシン全寸法: LX1045mm、LY1405mm、LZ2160mm ・精度: MPEE 0.7+L/400μm、MPEp0.45μm(18-22°) |
マイクロハイト、セラミックマスター定盤 | ・TESAマイクロハイト ±1μ H=500 ・ノリタケ セラミックマスター定盤 760x510 等級0級 |
- Leitz 超高精度三次元座標測定機 Reference HP 5.4.3
- クリーンルーム+シールドルーム 16m×6.5m×3.2m 恒温±1.0℃保持
- クリーンルーム 6m×3m×4.5m 恒温±0.5℃保持
- 精密金型組み立て定盤 1200×900×130 精度B級
- HEIDENHAIN MT101K デジマイクロ±0.1μ H=100 2台
- ノリタケ セラミック マスター定盤 760×510 等級 0級
- ノリタケ セラミック マスター定盤 455×300 等級 0級
- マスター セラミック ブロックゲージセット 112個組 〔グレード 0級〕 ミツトヨ製
- マスター スチール ブロックゲージセット 112個組 〔グレード 0級〕 ミツトヨ製
- ピンゲージセット各種 φ0.200~φ20.000 5μm刻み 精度±1μm
- Nikon デジマイクロ ±1μ
- TESA マイクロハイト±1μ H=500
- TESA 電気マイクロメーター TT10±0.1μ
- デジタルマイクロメーター ミツトヨ製 ウォータープルーフ 0~100mm 精度±1μ保障
- ホールテスト(内測3点式) ミツトヨ製 φ20~φ50
- Mahr830 垂直度計 Type Rectimar Nr 58739
基準定盤 C.E. JOHANSSON DIABASE 630×400×100H 等級 AA級 - Mahr円筒及び真円度マスターゲージ φ100×300H
- Nikon 画像処理工場顕微鏡 MM-800/LFA ×100
- Nikon 工場顕微鏡 ミューザースコープ MODEL Ⅱ ×100
- Leica 実体顕微鏡 S6E ×5~×80
- Leica 画像処理実体測定顕微鏡 M205C ×10~×200
- 表面粗さ計
- 真円度計
- 内面光学干渉顕微鏡
- (レーザー顕微鏡)
- (Zygo 測定器)
- (3次元形状測定器 UA3P)
- (SEM電子顕微鏡)機密保持の為、掲示しない設備含む